[发明专利]带有薄膜的基板、其制造方法和制造装置无效
| 申请号： | 95190623.2 | 申请日： | 1995-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN1130407A | 公开（公告）日： | 1996-09-04 |
| 发明（设计）人： | 野村文保;斋藤武 | 申请（专利权）人： | 东丽株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 唐爱军,杨丽琴 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供可以用比较小的生产设备制造防反射滤光片等大型的带有薄膜的基板的带有薄膜的基板的制造方法和制造装置。本发明的带有薄膜的基板的制造方法将成膜监测板设置在成膜区域之外或者使用可以移动的成膜监测板，测定在成膜监测板上形成的监测薄膜的膜厚，根据该膜厚控制成膜工艺，从而可以在大小相当于整个成膜区域的成膜对象基板上形成薄膜。另外，可以提高成膜对象基板在成膜区域内的配置的自由度，提高制造工艺过程的生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 薄膜 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.带有薄膜的基板的制造方法，其特征是：使成膜对象基板在移动的过程中暴露在成膜粒子束中，在该成膜对象基板暴露于该成膜粒子束中的范围的外侧设置成膜监测板，测定成膜监测板上形成的监测薄膜的膜厚，根据该监测薄膜的膜厚，一面控制成膜工艺、一面形成薄膜。
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