[发明专利]感湿体为致密陶瓷的湿敏元件制造方法无效
| 申请号： | 89101503.5 | 申请日： | 1989-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN1045662A | 公开（公告）日： | 1990-09-26 |
| 发明（设计）人： | 王天宝;冯宝康;王列娥;吴怀良 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | H01L49/00 | 分类号： | H01L49/00;G01N27/02;H01C7/00 |
| 代理公司： | 中国科学院上海专利事务所 | 代理人： | 潘振甦,聂淑仪 |
| 地址： | 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于陶瓷湿敏元件领域，其组成为KxNaxBi(1-x-y)TiO3其x和y为0.005～0.495，同时含有少量添加物。本发明提供的致密织构的湿敏元件最大特点是不需加热清洗而有较高的时间稳定性(年漂移≤5％RH)和良好的抗环境污染能力，25℃以上的感湿温度系数很小(≤0.1％RH、℃)可以不作温度补偿且具有灵敏度高(Z20％RH/Z99％RH～103)阴值适中、湿带较小，工艺重复性好等优点。此外，该元件不用金、二氧化钌等贵金属作电极和引线，结构简单成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 感湿体 致密 陶瓷 元件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种组成为KxNayBi(1-x-y)TiO3致密陶瓷的湿敏元件的制造方法，包括湿混、合成、烧成、涂银工艺，其特征在于：(1)X为0.005～0.495，y为0.005～0.495；(2)在900～1150℃保温度1～6小时条件下合成；(3)在1000～1200℃空气或通氧气条件下烧结，保温0.5～14小时；(4)烧结体上涂银。
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