[其他]接触式工作膜片印刷机的夹具

摘要

半导体工业中所使用的工作膜片接触式印刷机的夹具能够利用由现有易购得的原材料制成的密封垫，而且还能减少作用在原始模板和待复制膜片上的切向力。为此目的，本发明提出用一个初级密封垫和一个次级垫并在两密封垫并在两密封垫间配置一支架的结构。这种支架可防止切向力向与原始模板和待复制膜片相接触的密封垫传递。

主权项

1、接触式工作膜片印刷机包括一个固定部分和一个活动部分，它们的结构设计基本一致，这两个部分都各装有一个带有中间开口的板形夹具，夹具上做有凹槽，一块初级密封垫被推力架在凹槽底面上，保证初级密封垫位于凹槽底面和推力架之间，特别是在夹具体(3)上做有一附加的内凹槽(9)，装在内凹槽(9)底面上的次级密封垫(4)可以保持径向和轴向移动，支架(5)插在初级密封垫(6)和次级密封垫(4)之间也可作径向和轴向移动，次级密封垫(4)，初级密封垫(6)和支架(5)都做有一样的开口，其开口尺寸应分别小于模板(1)和膜片(2)的外廓尺寸，夹具体(3)上的内凹槽(9)的底面开口应大于模板(1)和膜片(2)的最大外廓尺寸，推力架(7)的开口尺寸则应小于内凹槽(9)底面的开口尺寸。