[其他]压电陶瓷动态微位移补偿器无效
| 申请号: | 86203862 | 申请日: | 1986-06-02 |
| 公开(公告)号: | CN86203862U | 公开(公告)日: | 1987-09-16 |
| 发明(设计)人: | 陈懋圻;杨昌海 | 申请(专利权)人: | 大连工学院 |
| 主分类号: | B23Q23/00 | 分类号: | B23Q23/00 |
| 代理公司: | 大连工学院专利事务所 | 代理人: | 花向阳 |
| 地址: | 辽宁省大*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | 一种压电陶瓷动态微位移补偿器,属于非电变量的控制或调节系统,该补偿器用锆钛酸铅压电陶瓷片叠堆而成,片与片之间不加铜箔,而用真空离子镀渗工艺镀上2—3μm厚的铜层,其静动态性能良好,满量程线性误差小于0.6%;在500Hz以下,幅频特性近似一水平直线。为在机床加工中,对加工误差实现计算机补偿控制提供了一种动态响应好的补偿手段,以实现较低成本、更可靠地获得高精度和特高精度的工件。 | ||
| 搜索关键词: | 压电 陶瓷 动态 位移 补偿 | ||
【主权项】:
1、一种压电陶瓷动态微位移补偿器,它包括高强度胶粘合、加压和烘烤的压电陶瓷片叠堆、极线[3]和外套[2],本实用新型的特征在于,具有经过研磨保证两面的平面度及平行度误差均不大于0.3μm,在两面的同一直径上互相错开分别加工有小楔面,表面有用真空离子镀法镀上的厚度为2~3μm铜层,同极面的小楔面[5]对齐并焊成极点[4],焊在极点[4]上的同一极的极线联在一起,从外套[2]的孔中引出的压电陶瓷片[1]。
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