[实用新型]一种真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置

摘要

本实用新型提供了一种真空磁控溅射镀膜室内的除渣装置，主要包括铲渣板和间隔设置在铲渣板板面上的铲渣条，使用时，将铲渣板置于真空磁控溅射镀膜室内的传送辊道上，依靠铲渣板自身重力以及根据传送辊间距设计的铲渣条间距，随着传送辊的转动，传送辊道上的所有铲渣条能够先后同步移动至传送辊和积渣板上，使得铲渣板在传送辊道上横向移动，形成一个上下起伏的运动，能够将底板上的渣料压碎，并通过横向移动将渣料推移至积渣板边缝落入底部。该除渣装置，结构简单，能够快速高效清理积渣板上的积渣，减少人力和时间成本，提高生产效率，有效延长清渣周期，便于推广应用。