[实用新型]复合型成像系统有效
| 申请号： | 202321020991.0 | 申请日： | 2023-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN219875914U | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 缪文良;林卫;李海生;郑洪宝 | 申请（专利权）人： | 长川科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | H04N23/55 | 分类号： | H04N23/55;G03B15/03;H04N17/00 |
| 代理公司： | 上海港慧专利代理事务所(普通合伙) 31402 | 代理人： | 郭嘉莹 |
| 地址： | 215124 江苏省苏州市苏州工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及一种复合型成像系统，包括：沿光轴方向设置的相机、分光元件和成像镜头，成像镜头用于收集来自样品表面的反射光或散射光至相机成像；第一光源，能够发出同轴光经分光元件入射到样品表面形成反射光；第二光源，能够在多个角度下发射入射光至样品表面形成散射光。通过第一光源发出同轴光经分光元件入射到样品表面形成反射光，以及通过第二光源在多个角度下发射入射光至样品表面形成散射光。采用复合型光学结构替换单一光源拍照结构，以解决单一光源拍照结构无法将缺陷特征呈现的问题，提高了检测可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 复合型 成像 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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