[实用新型]一种多机组并联式真空抽气系统

摘要

本实用新型公开了一种多机组并联式真空抽气系统，包括n个真空罐，各真空罐的抽气口分别通过抽气主管连通，各真空罐的抽气口上分别连接有气动插板阀；抽气主管上连接有一个粗抽泵，抽气主管上还连接有n/2个抽气组件，抽气组件包括串联的分子泵和机械泵。本实用新型通过2拖4结构布局，本系统四个真空罐相比常规布局，减少2个分子泵、2个机械泵，大大降低设备的建造成本；本系统可对4个真空罐同时抽真空，也可对每个真空容器分别抽真空以达真空的控制需求，提高了真空泵的使用效率，简化了真空系统的配置。