[实用新型]一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘

摘要

一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘，主要包括固定太阳轮、公转大齿轮、自转系、轨道滚轮系、定位系、顶部固定法兰、固定支撑杆、防污板、防污板支撑柱。所述固定太阳轮通过轨道滚轮系在腔体底板进行定位。所述公转大齿轮通过安装在固定太阳轮上端面的定位系进行定位。所述自转系在公转大齿轮上周向均布，自转小齿轮与所述固定太阳轮啮合。所述顶部固定法兰通过固定支撑杆与公转大齿轮连接。工件盘配套有防污板，防止传动零部件表面被沉积薄膜影响传动。所述防污板通过防污板支撑柱连接与公转大齿轮保持固定。本实用新型所提供的一种防真空电离的磁控溅射行星工件盘，可以使工件盘在实现公转、自转功能的同时，避免发生真空电离打火现象。