[实用新型]一种集成电路用电镀溶液生产用酸洗装置有效
申请号: | 202320662169.8 | 申请日: | 2023-03-29 |
公开(公告)号: | CN219385338U | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
发明(设计)人: | 解伟;张建飞 | 申请(专利权)人: | 上海赛夫特半导体材料有限公司 |
主分类号: | C23G3/00 | 分类号: | C23G3/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201500 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型涉及酸洗装置技术领域,尤其是一种集成电路用电镀溶液生产用酸洗装置,包括酸洗组件和传输组件,所述传输组件的两侧设有均匀分布的支撑架,所述支撑架固定连接所述传输组件,所述传输组件的下方设有所述酸洗组件,所述酸洗组件的内部设有滤网组件,所述滤网组件滑动连接所述酸洗组件,所述传输组件开设有限定槽,所述限定槽的内部设有滑动件,所述传输组件的一端设有输送电机,所述输送电机固定连接所述传输组件的上方;最终使得被加工的集成电路与酸洗液充分接触,从而提高了酸洗效率;最终使得清理了酸洗液所留下的氧化物,从而节省了更换酸洗液的成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成电路 用电 溶液 生产 酸洗 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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