[实用新型]一种平板膜厚检测装置有效

专利信息
申请号: 202320173094.7 申请日: 2023-01-16
公开(公告)号: CN219284221U 公开(公告)日: 2023-06-30
发明(设计)人: 涂东东;柴进;黄鸿杰;彭建林 申请(专利权)人: 深圳市曼恩斯特科技股份有限公司
主分类号: G01B11/06 分类号: G01B11/06;G01B11/14
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 王开慧
地址: 518118 广东省深圳市坪山区龙田*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型提供一种平板膜厚检测装置,属于涂布检测技术领域,包括检测平台、第一直线移动装置、支撑横梁、第二直线移动装置和非接触式测厚装置,检测平台具有吸附孔,第一直线移动装置具有两组,平行设置于所述检测平台顶面两侧;支撑横梁架设于两组所述第一直线移动装置的滑动块上;第二直线移动装置设于所述支撑横梁上;非接触式测厚装置设于所述第二直线移动装置的滑动块上,所述非接触式测厚装置指向所述检测平台。将待检测产品放置于检测平台上,通过吸附孔进行吸附固定,第一直线移动装置和第二直线移动装置带动非接触式测厚装置在两个方向上进行移动,可以快速测量待检测产品各点的膜厚量,大大提高了检测效率和精度。
搜索关键词: 一种 平板 检测 装置
【主权项】:
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