[实用新型]用于单晶炉的导流筒和单晶炉有效
| 申请号： | 202320163849.5 | 申请日： | 2023-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN219621305U | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 潘军明;张骏凯;张镇磊;王永谦;陈刚 | 申请（专利权）人： | 珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市天元律师事务所 16010 | 代理人： | 贾振勇 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型适用于单晶制造技术领域，提供了一种用于单晶炉的导流筒和单晶炉，导流筒可包括侧壁部和连接在侧壁部底部的底壁部，侧壁部环绕所述底壁部设置，底壁部形成有通孔，底壁部的底部形成有沿通孔的周向方向排列的分流孔，若干分流孔环绕通孔设置，分流孔沿底壁部延伸贯穿底壁部的外侧面。如此，在单晶硅棒的制作过程中，在保护气体沿着导流筒从底壁部上的通孔吹拂到晶体生长界面后，在流出时，一部分气体可以沿着通孔内壁上的分流孔流走而不用经过生长界面流走，降低了保护气体对晶棒生长界面的吹拂力，提升了晶棒拉制生产的稳定性，同时也能够为进一步降低导流筒和生长界面的距离提供支撑，进而提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 单晶炉 导流 | ||
【主权项】：
暂无信息
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