[实用新型]一种用于ICP设备的可调式多层感应线圈

摘要

本实用新型涉及一种用于ICP设备的可调式多层感应线圈，其属于半导体设备技术领域，其包括设置于ICP设备的机台腔室盖板上的外层线圈和内层线圈，外层线圈和内层线圈均分别通过伸缩固定柱与机台腔室盖板相连接，伸缩固定柱连接有调节机构；外层线圈共具有至少三个伸缩固定柱，内层线圈共具有至少两个伸缩固定柱，多个伸缩固定柱沿对应的外层线圈或内层线圈的周向均匀分布。本方案实现了在ICP设备工作过程中不停机地、实时地调整外层线圈和/或内层线圈所在平面的倾斜角度及高度，且调节精度高，使用灵活、便捷，满足等离子体浓度及浓度分布的工艺调整需要，有助于提高所处理的半导体器件的质量。