[实用新型]一种用于真空镀的冷却主鼓有效
| 申请号： | 202320067743.5 | 申请日： | 2023-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN218951488U | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 臧伟 | 申请（专利权）人： | 深圳市镭煜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市深可信专利代理有限公司 44599 | 代理人： | 黄蕴丽 |
| 地址： | 518107 广东省深圳市光*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀的冷却主鼓，包括两端开口的主鼓本体、转轴、第一密封板和第二密封板，主鼓本体的两端内分别设有第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板和第二支撑板之间形成冷却腔，冷却腔内设有连接筒，连接筒的两端分别密封设置在第一支撑板的安装孔内、第二支撑板的安装孔内，转轴穿设在连接筒中且转轴的两端分别从主鼓本体的两端伸出，第一密封板和第二密封板分别密封设置在主鼓本体的两端且分别密封套设在转轴的外周，第一密封板和第二密封板分别设有供冷却液进入的进液口以及供冷却液出来的出液口。本实用新型不会破坏真空腔室内的真空环境，并可减少能源的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 冷却 | ||
【主权项】：
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