[发明专利]一种显示面板用Ag蚀刻液、其制备方法与应用在审
| 申请号： | 202311199059.3 | 申请日： | 2023-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN116926549A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 侯军;彭仁杰;吕航;滕越 | 申请（专利权）人： | 浙江奥首材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/30 | 分类号： | C23F1/30 |
| 代理公司： | 宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312 | 代理人： | 涂萧恺 |
| 地址： | 324012 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种显示面板用Ag蚀刻液，按照重量份计算，包括如下组分：有机羧酸50‑75份；氧化剂8‑18份；螯合剂1‑3份；含钠化合物1‑2份；超纯水15‑25份。本发明还涉及所述显示面板用Ag蚀刻液的制备方法和使用方法。本发明显示面板用Ag蚀刻液中的螯合剂优选DTPA和DBCO，可以有效防止Ag离子在溶液中析出，附着在蚀刻后的基板表面造成污染；同时，DTPA和DBCO螯合Ag效果比其他同类物质更好，能够显著提高蚀刻液的使用寿命。本发明中的显示面板用Ag蚀刻液采用柠檬酸体系，蚀刻性能温和，不损伤基板上的单元，且蚀刻后无蚀刻残留。本发明中的蚀刻液相较于传统磷酸体系，粘度更低，流动性更好，达到蚀刻效果更佳，有利于后续的清洗工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 面板 ag 蚀刻 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
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