[发明专利]一种电子级六氟化钨分析方法在审
| 申请号： | 202311089910.7 | 申请日： | 2023-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN116879461A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 易维涛;刘丽娜 | 申请（专利权）人： | 北京高麦克仪器科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/20;G01N30/14;G01N30/88 |
| 代理公司： | 北京德邻共创知识产权代理有限公司 16134 | 代理人： | 杨俊 |
| 地址： | 101300 北京市顺*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明提出了一种电子级六氟化钨分析方法，包括对V1阀、V2阀、V3阀和V4阀进行设置，将其调定后放置在气路中；首先V1阀CCW、V2阀CW和V3阀CW样品吹扫LOOP1和LOOP2；进样时V2阀CW‑CCW载气3携带LOOP1样品进入PRECOL1进行预分离后再进入COL1进行再分析；将样品中杂质组分从PRECOL1流出后，V2阀CCW‑CW反吹主组分WF6；V3阀CW‑CCW载气5携带LOOP2样品进入PRECOL2进行预分离后再进入COL2进行再分析，在样品中杂质组分CO |
||
| 搜索关键词： | 一种 电子 氟化 分析 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京高麦克仪器科技有限公司，未经北京高麦克仪器科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202311089910.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：PCTC船舶拖链系统及方法
- 下一篇：一种振动测量装置
