[发明专利]一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置在审
| 申请号： | 202311087769.7 | 申请日： | 2023-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN116921965A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张月清;陈海源;杨军 | 申请（专利权）人： | 江苏富乐德石英科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K37/04 | 分类号： | B23K37/04 |
| 代理公司： | 南京鼎傲知识产权代理事务所(普通合伙) 32327 | 代理人： | 刘焕敏 |
| 地址： | 224200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种真空吸附式石英腔体焊接辅助装置，本发明涉及半导体加工技术领域，外推板分别利用横向导杆活动设置于框体的四个外侧面外侧；真空吸盘设置在外推板的外侧壁上；滑槽板背板固定在横向导杆的内端上；滑槽板固定在滑槽板背板的内侧面上；十字推板上下活动设置于框体的内部，且十字推板的四个端板上均连接有滑槽杆，滑槽杆上下滑动设置在开设于滑槽板中的弧形滑槽中；直线伺服电机固定在框体的底部，且直线伺服电机的输出端上连接推杆，推杆与十字推板利用铰链连接。通过真空吸附要焊接的石英板，固定垂直度好，不需要假接，可以实现各种尺寸的板焊接，可以实现多接口同步焊接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 吸附 石英 焊接 辅助 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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