[发明专利]一种多视场反馈的整形激光三维硬脆结构加工方法及系统

摘要

本发明提供一种多视场反馈的整形激光三维硬脆结构加工方法及系统，所述系统包括时空整形模块、激光偏转模块、加工平台模块、柔性装夹模块、三维立体成像模块、气体吹吸模块。本发明利用三维建模软件对待加工样品进行特异性建模，并导出立体光刻文件(STL模型)和绘图交换文件(DXF模型)；使用制图软件对DXF模型编辑，并对激光加工路径设计；将加工路径投影至STL模型的加工位置；调整时空整形模块；使用柔性装夹模块和三维立体成像模块进行样品的安装及定位；使用三维成像模块反馈信息并做出补偿；使用气体吹吸模块进行保护气体吹拂及负压吸气。本发明可完成三维结构高效、高精、跨尺度加工，解决了使用振镜激光三维加工过程实时观测困难的问题。