[发明专利]高效截断碳板的截断方法在审

专利信息
申请号: 202311083883.2 申请日: 2023-08-25
公开(公告)号: CN116872365A 公开(公告)日: 2023-10-13
发明(设计)人: 殷效财;马玉怀;芮阳;徐慶晧;王黎光;曹启刚;魏瑶;兰正东;陈元寿 申请(专利权)人: 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
主分类号: B28D1/08 分类号: B28D1/08;B28D7/02;B28D7/04
代理公司: 宁夏三源鑫知识产权代理事务所(普通合伙) 64105 代理人: 雷洋
地址: 750000 宁夏回族自*** 国省代码: 宁夏;64
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明提供一种高效截断碳板的截断方法,涉及碳板截断技术领域,将圆柱形工件与树脂板进行粘接,组成承载工装;将碳板可拆卸固定在树脂板上,组成待切割工件,将待切割工件放置在截断机的V形槽上,且圆柱形工件与截断机的V形槽接触,将截断机压紧装置压合在碳板的上表面;将切割头的头升降轴下降使得锯带与碳板为预定距离,打开切削水,驱动主轴匀速旋转,再将切割头的头升降轴下降使得锯带切割碳板;碳板切割完成,关闭截断机;通过使用晶棒的截断机对碳板进行截断,提高截断效率,减少碳板崩边、破裂的概率,且截断机的切割头的头升降轴进行垂直升降,使得碳板的截断端面平整,误差小,不会对工作人员造成不适。
搜索关键词: 高效 截断 方法
【主权项】:
暂无信息
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