[发明专利]激光准直调节方法与系统、光学设备及介质有效
申请号: | 202311005955.1 | 申请日: | 2023-08-10 |
公开(公告)号: | CN116719172B | 公开(公告)日: | 2023-10-27 |
发明(设计)人: | 张晶晶;朱汝楷;谢院生 | 申请(专利权)人: | 星元极光(苏州)光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B27/30 | 分类号: | G02B27/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215513 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供了激光准直调节方法与系统、光学设备及介质。光学设备包括一光路调整装置,一成像装置,一物镜,和一升降样品台;一激光经光路调整装置和物镜后照射于升降样品台上的一样品上,成像装置能够对样品成像;该激光准直调节方法中通过获取聚焦光斑,调节光路调整装置使得聚焦光斑与物镜的光轴的偏差小于一第一阈值,这样就能够实现激光平行于物镜的光轴;接着再通过获取散焦光斑,调节光路调整装置使得散焦光斑与物镜的光轴偏差小于一第二阈值,这样就能够实现激光的光束中心与物镜的光轴重合。该方法能够快速、准确地实现激光准直调节。 | ||
搜索关键词: | 激光 调节 方法 系统 光学 设备 介质 | ||
【主权项】:
暂无信息
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