[发明专利]混合波导结构EML激光器及其制作方法在审
| 申请号： | 202310982688.7 | 申请日： | 2023-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN116706673A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 李鸿建;郭娟;孔德谋 | 申请（专利权）人： | 武汉云岭光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/026 | 分类号： | H01S5/026;H01S5/22;H01S5/042 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 吴静 |
| 地址： | 430223 湖北省武汉市东湖新技*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及光通信激光器技术领域，提供了一种混合波导结构EML激光器的制作方法，包括如下步骤：S1，生长外延结构；S2，在所述外延结构的上表面划定LD激光器区和EA电吸收调制器区；S3，在所述LD激光器区制作掩埋异质结结构，在所述EA电吸收调制器区制作脊波导结构，所述掩埋异质结结构和所述脊波导结构一体成型制得。还提供一种混合波导结构EML激光器，包括掩埋异质结结构和脊波导结构，所述掩埋异质结结构和所述脊波导结构一体成型。本发明采用两种波导一体成型，避免两种波导的套刻偏差造成出光效率差问题，不需要高精度光刻对准设备，节约了昂贵设备投入成本。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 波导 结构 eml 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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