[发明专利]一种光刻机自由光瞳照明控制系统在审
| 申请号： | 202310975318.0 | 申请日： | 2023-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN116909109A | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 陈浩然;童长青;刘清沁 | 申请（专利权）人： | 上海镭望光学科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 秦翠翠 |
| 地址： | 201821 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种光刻机自由光瞳照明控制系统，包括：运算中心、控制中心、微反射镜阵列控制单元、微反射镜阵列角位置监测单元和微反射镜阵列；运算中心通过上位机获取光刻机的目标照明模式，并根据目标照明模式计算各微反射镜的目标角位置和初始驱动电压，及将目标角位置和初始驱动电压发送至控制中心；控制中心将各微反射镜的初始驱动电压发送至微反射镜阵列控制单元，以驱动各微反射镜旋转；微反射镜阵列角位置监测单元用于监测各微反射镜的角位置，并将监测的实测角位置反馈至控制中心；控制中心还用于根据实测角位置对各微反射镜进行闭环控制，直至各微反射镜实现目标照明模式。该控制系统能够对若干微反射镜高速、同步、闭环控制，提供精确的照明模式。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 自由 照明 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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