[发明专利]一种晶体生长装置在审
申请号: | 202310966514.1 | 申请日: | 2023-08-03 |
公开(公告)号: | CN116676673A | 公开(公告)日: | 2023-09-01 |
发明(设计)人: | 洪冬梅;刘景峰;沈秀峰;刘多 | 申请(专利权)人: | 北京奇峰蓝达光学科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 深圳维启专利代理有限公司 44827 | 代理人: | 魏坤宇 |
地址: | 101300 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本申请涉及一种晶体生长装置,涉及晶体生长所用装置的技术领域,其包括晶体炉和升降机构,升降机构能够带动晶体炉升降,晶体炉包括第一炉体、第二炉体、炉盖和底部炉门,炉盖位于第一炉体上方并与第一炉体连接,第二炉体位于第一炉体下方并与第一炉体连接,底部炉门位于第二炉体下方并与第二炉体连接,第一炉体上开设有第一水冷夹层,第二炉体上开设有第二水冷夹层,炉盖上开设有第三水冷夹层,底部炉门上开设有第四水冷夹层。本申请能够对水冷夹层的温度进行分层控制从而保证晶体炉内的温度梯度。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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