[发明专利]用于释放型体声波滤波器的监控结构、滤波器在审
| 申请号： | 202310964233.2 | 申请日： | 2023-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN116707479A | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 胡威威;邹洁;唐供宾 | 申请（专利权）人： | 深圳新声半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/56;H03H9/58;G01D21/00;G01H11/08 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 陶俊洁 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市福田区梅林街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本申请涉及谐振器技术领域，公开一种用于释放型体声波滤波器的监控结构，包括：多个释放监测结构，释放监测结构的数量与谐振器的数量相同；释放监测结构之间的连接方式与谐振器连接方式相同；各释放监测结构分别设置有空腔和第一空腔释放通道；第一空腔释放通道用于连通释放监测结构的空腔和谐振器的第二空腔释放通道。这样，释放监测结构的数量与滤波器中的谐振器的数量相同，且释放监测结构之间的连接方式与谐振器连接方式相同。便于监控结构中的每一个释放监测结构能分别对应监测一个谐振器，从而能够监测滤波器中的每一个谐振器是否释放干净。进而能够精确的监测滤波器是否释放干净。本申请还公开一种滤波器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 释放 声波 滤波器 监控 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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