[发明专利]一种声表面波谐振器去嵌方法有效
| 申请号： | 202310962504.0 | 申请日： | 2023-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN116683888B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 柳嵩;莫兴泽;杨涛;董元旦 | 申请（专利权）人： | 成都频岢微电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H3/08 |
| 代理公司： | 西安正华恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 61271 | 代理人： | 陈选中 |
| 地址： | 611730 四川省成都市郫都*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波谐振器去嵌方法，通过在压电衬底上设计与声表面波谐振器具有相同馈电结构的夹具，可以准确提取从片外校准基片上探针尖端到声表面波谐振器根部的误差盒，用于声表面波谐振器的去嵌和COM模型的提取，适用于任意频率、大小、压电衬底和切角的声表面波谐振器，是一种准确且通用的声表面波谐振器去嵌方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 谐振器 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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