[发明专利]编码器装置、驱动装置、载置台装置以及机器人装置在审

专利信息
申请号: 202310923520.9 申请日: 2017-01-06
公开(公告)号: CN116952284A 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 后藤雅彦 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: G01D5/347 分类号: G01D5/347;G01D5/14;G01D5/56;G01D5/58;G01D5/244;B25J19/02
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 肖靖
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及编码器装置、驱动装置、载置台装置以及机器人装置。提供电池无需维护或者维护的频度低的编码器装置。编码器装置具备:位置检测系统;电信号发生部,由于移动部的移动,发生电信号;以及发光调整部,根据电信号,调整从发光部的光的照射,所述位置检测系统包括:标尺;发光部,向标尺照射光;光检测部,由于移动部的移动而与标尺的相对位置变化;以及检测部,根据光检测部的检测结果,检测移动部的位置信息。
搜索关键词: 编码器 装置 驱动 载置台 以及 机器人
【主权项】:
暂无信息
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