[发明专利]一种组合式振镜三维激光刻蚀设备在审
| 申请号： | 202310913492.2 | 申请日： | 2023-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN116786989A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 霍利华;张爱玲 | 申请（专利权）人： | 大连柯映信息科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 深圳天融专利代理事务所(普通合伙) 44628 | 代理人： | 雷天飞 |
| 地址： | 116013 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及激光刻蚀设备技术领域，本发明公开了一种组合式振镜三维激光刻蚀设备，包括主体结构、平面折射结构以及增维折射结构；所述平面折射角结构固定设置于主体结构中的上壳体内，所述增维折射结构固定设置于主体结构中的下壳体内，本发明通过平面折射结构可以实现沿X轴、Y轴所形成平面的范围扫描，同时借助调节Y镜的移动，提高整体平面扫描范围；通过驱动增维折射结构，使Z镜与Y镜相对，实现三次折射，使激光沿Z轴方向运动，进而实现三维空间的扫描加工；继而可以实现对立体的工件侧避加工，无需调转工件；整体构造简单，便于组装组合使用，而且扫描范围扩大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 组合式 三维 激光 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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