[发明专利]用于单频激光干涉仪的激光热稳频装置在审
| 申请号： | 202310901135.4 | 申请日： | 2023-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN116937313A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 盖建新;郭新儒 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | H01S3/13 | 分类号： | H01S3/13;G01B9/02001;H01S3/134;H01S3/131 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江联合专利商标代理有限公司 23213 | 代理人： | 张利明 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 用于单频激光干涉仪的激光热稳频装置，解决了现有激光热稳频装置易受环境干扰影响稳定性的问题，属于纳米级精度的位移测量技术领域。本发明包括：温度采集模块用于检测He‑Ne激光发生器谐振腔腔体的温度，输入至处理器；He‑Ne激光发生器发出的激光通过分光模块分成两束线偏振光，并转换为电流信号后输入至光电变换模块；光电变换模块将输入的电流信号转换成两路电压信号，两路电压信号的差分信号转换成单端电压信号，再输入至处理器；处理器根据收到的温度和单端电压信号通过PID控制算法调节PWM调制模块的PWM输出占空比，进而通过开关电路控制He‑Ne激光发生器供电电源的通断时间，分别在不同时间实现温度控制和稳频控制。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 干涉仪 热稳频 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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