[发明专利]一种克服表面张力的旋涂方法在审
| 申请号： | 202310888307.9 | 申请日： | 2023-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN116921170A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 邓宇;曾志敏;黎树有;钟先煌 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | B05D1/00 | 分类号： | B05D1/00 |
| 代理公司： | 广东南北知识产权代理事务所(普通合伙) 44918 | 代理人： | 肖湘漓 |
| 地址： | 510006 广东省广州市番禺区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种克服表面张力的旋涂方法。该方法使用延伸件进行旋涂，所述延伸件包括：中心吸附孔(1)，用于吸附试样；中心阶梯盘(2)，所述中心阶梯盘(2)与试样契合；外部延伸部件(3)，当所述试样与所述中心阶梯盘(2)契合后，所述外部延伸部件(3)上表面与所述试样上表面重合；转盘啮合部分(4)，所述转盘啮合部分(4)与旋涂装置契合，用于将延伸件固定在旋涂装置上。本发明可用于各种可旋涂平面样件表面，克服了样件表面、特别是样件边缘涂层厚度太厚，平整度难以保证的问题，提高了涂布速度及均匀性，从而提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 克服 表面张力 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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