[发明专利]一种氮氧化硅-石英复合材料坩埚及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202310886582.7 申请日: 2023-07-19
公开(公告)号: CN116949556A 公开(公告)日: 2023-10-27
发明(设计)人: 周浪 申请(专利权)人: 南昌大学共青城光氢储技术研究院
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10;C30B29/06;C04B35/14;C04B35/584;C04B35/622;C04B35/653
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 王焕巧
地址: 332020 江西省九江市共*** 国省代码: 江西;36
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明公开了一种氮氧化硅‑石英复合材料坩埚及其制备方法,以氮氧化硅与石英的复合材料作为坩埚的埚壁,先由石英砂与高纯氮化硅粉混合形成混合料,以混合料为原料采用旋转模具法‑电弧熔制法制作坩埚,加热保温过程中混合料粉体中的氮化硅与部分石英砂在高温下反应形成氮氧化硅,电弧加热保温时间比同等规格纯石英坩埚延长20~80%,坩埚的埚壁的组成为均匀氮氧化硅与石英的复合材料,或氮氧化硅含量从坩埚壁外向里逐渐增加的梯度复合材料,或者外层石英内层上述复合材料。所得复合材料坩埚强度高、抗硅熔体润湿性好、抗气泡迁移能力强、寿命长,以其生产的直拉单晶硅氧含量低,可替代纯石英坩埚用于规模化直拉单晶硅生产。
搜索关键词: 一种 氧化 石英 复合材料 坩埚 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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