[发明专利]一种基于晶圆升降控制机构的甘油热板装置有效
| 申请号： | 202310868190.8 | 申请日： | 2023-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN116592590B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 魏猛;赵希晨;李冬海;张爽 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯达科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B23/06;F26B25/00;F26B25/02;F26B25/18 |
| 代理公司： | 辽宁惟则知识产权代理事务所(普通合伙) 21273 | 代理人： | 李巨智 |
| 地址： | 110167 辽宁省沈阳市浑*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于晶圆升降控制机构的甘油热板装置，包括底座和外壳，所述外壳的表面设置有加热机构、排风过滤机构和防爆机构。本发明通过升降气缸来带动晶圆支撑座进行高度的调节，同时在底座的表面设置了用于对晶圆支撑座进行缓冲的保护组件，通过保护组件的设置能够使得晶圆支撑座在下降的过程中对缓冲杆进行挤压，进而将缓冲杆的转动转化为扭簧的形变，从而来达到对晶圆支撑座进行缓冲的目的，同时在底座的表面还设置了对晶圆支撑座进行锁死的抱死组件，在晶圆支撑座下降时能够通过抱死组件对支撑板进行固定限位，使支撑板能够从晶圆支撑座的底部进行承托，防止晶圆支撑座的下方出现异物时会产生碰撞，从而防止晶圆受损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 升降 控制 机构 甘油 装置 | ||
【主权项】：
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