[发明专利]同相超模激光器在审
申请号: | 202310826254.8 | 申请日: | 2023-07-06 |
公开(公告)号: | CN116759891A | 公开(公告)日: | 2023-09-15 |
发明(设计)人: | 郑婉华;王炬文;齐爱谊;徐传旺;渠红伟;周旭彦;王亮 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S5/40 | 分类号: | H01S5/40;H01S5/30;H01S5/22;H01S5/323;H01S5/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 肖慧 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本公开提供一种同相超模激光器,包括:沿外延方向设置的衬底和至少两个相叠加的激光器单元;其中,至少两个相叠加的激光器单元中的相邻激光器单元之间设置有隧道结,至少两个相叠加的激光器单元的波导芯层相互耦合形成超模光学腔;以及远离衬底的最上层激光器单元上刻蚀有一个或多个电注入脊条结构;其中,电注入脊条结构包括本征超模增益区和反向超模相移区,反向超模相移区用于补偿与本征超模增益区相对应的超模光学腔中高阶超模的本征相位差。本公开的同相超模激光器可以在快轴方向实现同相超模输出,并且具有低发散角的远场主峰,以及窄光谱宽度。 | ||
搜索关键词: | 相超模 激光器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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