[发明专利]一种基于FM MASK多槽清洗工艺在审
| 申请号： | 202310816273.2 | 申请日： | 2023-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN116586373A | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 何平 | 申请（专利权）人： | 苏州殷绿勒精密机械科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/04;B08B3/14;B08B13/00 |
| 代理公司： | 苏州圆融专利代理事务所(普通合伙) 32417 | 代理人： | 张浩 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于FM MASK多槽清洗工艺，包括以下步骤：S1：上料；S2：HC洗剂超声波粗洗一：去除工件表面大颗粒，清洗温度：20‑30℃；冷却恒温；S3：HC洗剂超声波粗洗二；S4：HC洗剂超声波清洗一：去除工件表面中小颗粒，清洗温度：20‑30℃；冷却恒温；S5：HC洗剂超声波清洗二；S6：HFE洗剂超声波清洗一：去除工件表面细微颗粒，清洗温度：20‑30℃；冷却恒温；S7：HFE洗剂超声波清洗二；S8：减压干燥：先对工件表面喷一层HFE药液，槽盖关闭后采用辐射加热的方式对工件进行加热，并进行真空突沸，干燥温度：40‑80℃；S9：下料。本发明，采用溢流循环的模式，可大幅度减少清洗液的使用，且通过循环过滤再回清洗槽，防止颗粒在工件上再次粘附。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 fm mask 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
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