[发明专利]一种二级压电驱动精密转镜在审
| 申请号： | 202310732726.3 | 申请日： | 2023-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN116719159A | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 陈艳;朱凡;陈钦顺;王金梦;黄锐婷;张静怡;叶贤基 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 郑华丽 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种二级压电驱动精密转镜，包括镜架壳体、底座和第一螺钉；所述镜架壳体上端嵌固有二维柔性偏转结构，所述二维柔性偏转结构的内壁上嵌固有反射镜；所述镜架壳体在所述二维柔性偏转结构的正下方通过四个第一内孔内嵌有四个驱动模块；所述驱动模块由第一级驱动单元、第二级驱动单元和氧化铝陶瓷头自下而上依次叠层串联而成，所述第一级驱动单元的行程大于所述第二级驱动单元的行程，同时所述第一级驱动单元的分辨力低于所述第二级驱动单元的分辨力；所述底座在对应每个所述第一级驱动单元正下方处设置有第二螺钉；所述第一螺钉将所述底座与所述镜架壳体固定连接。本发明能够同时实现大行程与高分辨力光束角度偏转。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二级 压电 驱动 精密 | ||
【主权项】：
暂无信息
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