[发明专利]一种基于差值优化算法的刻蚀预测方法在审
| 申请号： | 202310731463.4 | 申请日： | 2023-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN116720476A | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 周豫山;戴志学;李刚 | 申请（专利权）人： | 中江联合（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/398 | 分类号： | G06F30/398;G06N3/045;G06N3/048;G06N3/084;G06N3/0985 |
| 代理公司： | 重庆上义众和专利代理事务所(普通合伙) 50225 | 代理人： | 刘星 |
| 地址： | 100048 北京市海淀区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种基于差值优化算法的刻蚀预测方法，具体步骤为：步骤一：对仿真数据和实际数据做归一化处理；步骤二：将处理后的仿真数据和实际数据输入ANN神经网络，输出第一预测厚度，进步步骤五；步骤三：将实际数据输入第一RBF神经网络，输出实际刻蚀深度与仿真刻蚀深度差值的预测值；步骤四：通过仿真数据和实际刻蚀深度与仿真刻蚀深度差值的预测值，计算得到第二预测厚度；步骤五：将第一预测厚度和第二预测厚度输入第二RBF神经网络；步骤六：输出最终预测厚度值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 差值 优化 算法 刻蚀 预测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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