[发明专利]一种电子级锗烷的纯化方法在审

专利信息
申请号: 202310710252.2 申请日: 2023-06-15
公开(公告)号: CN116902920A 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: 张建伟;陈润泽;王佳佳;吝秀锋;刘鹏森;陈诗宇;马素静;朱书娴 申请(专利权)人: 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司
主分类号: C01B6/06 分类号: C01B6/06
代理公司: 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 代理人: 张晓佩
地址: 057550 河北省邯郸市肥乡区化工工业*** 国省代码: 河北;13
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种电子级锗烷的纯化方法,该方法为:将粗品锗烷先送至旋风分离器,除去气相中夹带的固体粉末;再送入膜分离器,除去大部分CO2、N2、H2和H2O杂质;再通入吸附塔,进一步脱除余下的CO2、N2、H2和H2O杂质;最后通至脱重提纯塔,塔底脱去乙锗烷、丙锗烷杂质,塔顶得到锗烷产品。本发明将膜分离、吸附与精馏结合,用在锗烷气体的纯化过程中,首先通过膜分离技术,利用中空纤维膜选择性渗透较高渗透率的组分,除去粗品锗烷中的CO2、N2、H2和H2O组分,再利用分子筛吸附二次脱除CO2、N2、H2和H2O杂质,最后通过脱重提纯,去除重组分杂质乙锗烷、丙锗烷,确保锗烷纯度能够达到99.9999%。
搜索关键词: 一种 电子 级锗烷 纯化 方法
【主权项】:
暂无信息
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