[发明专利]一种微结构高精度压印加工方法在审
| 申请号： | 202310680935.8 | 申请日： | 2023-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN116643451A | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 王金辉;姜珊珊;田业冰 | 申请（专利权）人： | 潍坊科技学院 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 262700 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微结构高精度压印加工方法，属于微纳结构制造技术领域。微结构压印装置刚性固定于Z向平移台，并通过Z向平移台支撑结构固定于工作台上；工件固定于由X向平移台和Y向平移台构成的XY轴二维平移台上，二维平移台同样固定于工作台上。微结构压印装置设计为：压电叠堆驱动器可驱动微结构压印头伸缩，微结构压印头压印工件时产生的压力使柔性运动部位位移，此位移量可由位移传感器实时测量。本发明方法通过控制系统以控制微结构压印头的压印深度为目的并结合压电叠堆驱动器快速响应、精准定位的特点，能够实现一定深度的微结构高精度快速压印加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微结构 高精度 压印 加工 方法 | ||
【主权项】：
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