[发明专利]一种三维激光剥蚀质谱仪、联用检测系统及检测方法在审
| 申请号： | 202310679935.6 | 申请日： | 2023-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN116773507A | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 胡勇刚;陈国荣 | 申请（专利权）人： | 上海凯来仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01N21/01;G01N27/626 |
| 代理公司： | 广州京诺知识产权代理有限公司 44407 | 代理人： | 于睿虬 |
| 地址： | 201306 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种三维激光剥蚀质谱仪、联用检测系统及检测方法，所述三维激光剥蚀质谱仪包括激光剥蚀系统、检测池、磨抛系统和质谱检测装置；所述联用检测系统包括：上述三维激光剥蚀质谱仪和拉曼激光系统，所述检测方法包括对样品检测后进行样品表面磨抛。本发明通过引入机械磨抛，去除了样品表面由于激光剥蚀而产生的热变层，一方面利用了激光剥蚀的高效性，另一方面也消除了激光剥蚀的聚焦点的能量对检测可能产生的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 激光 剥蚀 质谱仪 联用 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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