[发明专利]一种制造长距离氢气传感光纤的磁控溅射涂覆装置及工艺在审
| 申请号： | 202310660631.5 | 申请日： | 2023-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN116641031A | 公开（公告）日： | 2023-08-25 |
| 发明（设计）人： | 池行强 | 申请（专利权）人： | 武汉职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/08;C23C14/06 |
| 代理公司： | 武汉瑞创星知识产权代理事务所(普通合伙) 42274 | 代理人： | 曹雄 |
| 地址： | 430000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及特种光纤制作技术领域，一种制造长距离氢气传感光纤的磁控溅射涂覆装置，包括环形轨道、光纤涂覆器和等离子发射器，其中光纤涂覆器包括车轮和辊筒，光纤涂覆器通过车轮安装在环形轨道上，光纤涂覆器能够通过车轮驱动使光纤涂覆器围绕环形轨道的轴心转动，辊筒有两个，且两个辊筒相互平行的安装在所述光纤涂覆器的主体上，两个辊筒中的一个为收线轴，另一个为放线轴；等离子发射器与所述光纤涂覆器间隔设置，光纤涂覆器的发射端朝向光纤涂覆器，且等离子发射器发射等离子的范围覆盖光纤涂覆器。该装置实现了连续制造涂有多层特殊涂层的长距离光纤氢气传感器。本发明还提出一种制造长距离氢气传感光纤的磁控溅射涂覆方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 长距离 氢气 传感 光纤 磁控溅射 装置 工艺 | ||
【主权项】：
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