[发明专利]一种基于激光自混合干涉技术的交变梯度磁性测量系统在审
| 申请号： | 202310642046.2 | 申请日： | 2023-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN116660814A | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 尉国栋;白力刚;牛天亮;张学莹;林晓阳;赵巍胜;苏衍峰;曹志强 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01R33/12 | 分类号： | G01R33/12 |
| 代理公司： | 北京博尔赫知识产权代理事务所(普通合伙) 16045 | 代理人： | 王灿 |
| 地址： | 100089*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于激光自混合干涉技术的交变梯度磁性测量系统，应用于半导体技术领域，包括：谐振装置：用于使待测样品在交变梯度磁场中与样品杆发生共振；信号采集装置：用于在发生共振时，基于激光自混合干涉技术，测得待测样品的光功率信号；信号处理装置：用于将光功率信号调制转换为数字信号；计算机：用于将数字信号转换为待测样品的实时位移信息，并结合样品杆的振幅与受力的关系，确定待测样品的磁矩。本发明通过激光自混合干涉技术来代替压电双晶片测量待测样品的微小振动，并结合样品杆的振幅与受力的关系，确定待测样品的磁矩，实现了远距离、无接触、高精度地对弱磁性物品的磁性进行测量，克服了现有磁强计技术的诸多显著弊端。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 混合 干涉 技术 梯度 磁性 测量 系统 | ||
【主权项】：
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