[发明专利]一种复合材料表面磁控溅射镀铜前等离子体表面改性方法在审
| 申请号： | 202310607158.4 | 申请日： | 2023-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN116607105A | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 张程程;赵栋才;陆俊杰;郑军;刘兴光;丁继成 | 申请（专利权）人： | 安徽工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/20;C23C14/35 |
| 代理公司： | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人： | 王林 |
| 地址： | 243032 安徽省马鞍*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及表面工程技术领域，具体涉及一种复合材料表面磁控溅射镀铜前等离子体表面改性方法，包括如下步骤：步骤一：材料准备：复合材料；步骤二：样品化学清洗；步骤三：射频等离子体表面活化或高压条形离子源表面活化；步骤五：直流磁控溅射技术铜膜的制备，得到处理后的复合材料，经本发明方法处理后的复合材料不仅对表面进行了清洗、刻蚀，同时增加复合材料表面的粗糙度，提高了复合材料的表面能，改善其表面性能，进而提高了基底与铜膜的结合强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合材料 表面 磁控溅射 镀铜 等离子体 改性 方法 | ||
【主权项】：
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