[发明专利]一种抗模压的碱性水性显影的光敏胶膜及其应用有效
| 申请号： | 202310597412.7 | 申请日： | 2023-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN116333303B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 唐新颖;贾斌;范树东;王敬波;赵云云 | 申请（专利权）人： | 明士（北京）新材料开发有限公司 |
| 主分类号： | C08G69/44 | 分类号： | C08G69/44;G03F7/32;G03F7/40;G03F7/004;G03F7/027 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 王春霞 |
| 地址： | 101399 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗模压的碱性水性显影的光敏胶膜及其应用。所述光敏胶膜由感光性树脂组合物制成，感光性树脂组合物的质量份组成：100份聚酰胺酸酯树脂、30~60份光致交联剂、0.1~15份光引发剂、0.1~5份阻聚剂，87~390份无机填料，1~5份分散剂、100~300份溶剂；制备方法：二酐与含不饱和双键的醇类化合物反应得二酯二酸；二酯二酸与酰氯化试剂反应得相应二酯二酰氯；二酯二酰氯与二胺溶液Ⅰ进行缩聚反应；缩聚反应进行3~8h后，向该反应体系中加入二胺溶液Ⅱ继续缩聚反应即得。本发明通过调整树脂结构，使碱性水性显影的光敏胶膜能够保证胶膜从支撑膜向晶圆转移时100%的膜转移率，同时可保证胶膜进行模压时的挺度，保证胶膜模压时不发生塌陷，保证中空腔体的形成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模压 碱性 水性 显影 光敏 胶膜 及其 应用 | ||
【主权项】：
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