[发明专利]一种基于太赫兹时域光谱技术的检测装置及使用方法在审
| 申请号： | 202310571149.4 | 申请日： | 2023-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN116359172A | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 潘学文;胡蓉;邵金侠;杨振南 | 申请（专利权）人： | 湖南科技学院 |
| 主分类号： | G01N21/3586 | 分类号： | G01N21/3586;G01N21/3563;B25B11/00 |
| 代理公司： | 北京箐昱专利代理事务所(普通合伙) 16105 | 代理人： | 李晓玲 |
| 地址： | 425199 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于太赫兹时域光谱技术的检测装置，涉及集成电路检测技术领域。本发明包括平移机构、检测定位机构以及检测机构，检测定位机构滑动设置于平移机构顶部，待检测的IC芯片被定位在检测定位机构顶部；检测定位机构包括两第一磁套组和两第二磁套组，第一磁套组沿X轴方向布置，第二磁套组沿Y轴方向布置；检测机构的精调组件包括环向设置的四个第三磁套组，第一磁套组与对应的第三磁套组磁性相斥，第二磁套组与对应的第三磁套组磁性相斥。本发明通过利用太赫兹波技术对封装过程中的IC芯片进行检测，能够很好的满足IC芯片无损检测的需要，同时利用太赫兹波短脉冲的特性，能够有效保证检测装置具有较高的空间分辨率和检测精准度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 赫兹 时域 光谱 技术 检测 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
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