[发明专利]一种晶圆级光学结构阵列和具有其的投影装置在审
| 申请号： | 202310559716.4 | 申请日： | 2023-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN116719107A | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 李凡月;申建雷;沈宝良;黄伟 | 申请（专利权）人： | 拾斛科技（南京）有限公司 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00;G02B3/08;G03B21/14;G03B21/20;C03C27/12 |
| 代理公司： | 南京睿之博知识产权代理有限公司 32296 | 代理人： | 周中民 |
| 地址： | 211800 江苏省南京市江北*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆级光学结构阵列和具有其的投影装置，该晶圆级光学结构阵列包括基底层以及设置在基底层上的压印结构层，基底层由N层玻璃构成，N为大于等于2的整数，与压印结构层紧贴的玻璃层横向尺寸小于其他层玻璃横向尺寸。在晶圆级光学元件加工过程中，由于基底由多层玻璃组成，其中紧贴压印结构层的玻璃横向尺寸小于其他玻璃横向尺寸，使得在基底切割工序中，无需切割紧贴压印结构层的玻璃，待切割基底实际厚度小于单层玻璃的晶圆级光学产品，减小了切割难度，提高了生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆级 光学 结构 阵列 具有 投影 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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