[发明专利]一种自动拆换靶装置在审
| 申请号： | 202310534301.1 | 申请日： | 2023-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN116798674A | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 杨磊;唐庆峰;张衡;张建荣;张雅玲;张学智;杨阳阳;高笑菲;詹文龙 | 申请（专利权）人： | 先进能源科学与技术广东省实验室;中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | G21G1/00 | 分类号： | G21G1/00;B65G35/00;B65G47/82 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 黄寿华 |
| 地址： | 516025 广东省惠州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种自动拆换靶装置，包括支架机构以及设在所述支架机构上的真空腔体和取换靶机构，所述真空腔体包括至少两个活动连接的真空室本体，所述真空腔体内设有安装靶件的靶托；所述取换靶机构包括用于放置靶件的靶舱和靶件推动机构，所述靶件推动机构活动连接于所述靶舱；当所述真空室本体相远离时，所述靶件推动机机构用于推动所述靶舱内的靶件至所述靶托；所述转运机构，包括转运组件以及用于装载旧靶件的屏蔽罐，所述屏蔽罐活动连接所述转运。该自动拆换靶装置通过开合式结构的真空腔体设计使整体结构具有精简的特性，取换靶机构构造简单，并实现自动化取换靶，保证工作人员的安全性，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 拆换靶 装置 | ||
【主权项】：
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