[发明专利]基于叉指结构的互补开口谐振环传感器及其设计方法在审
申请号: | 202310525617.4 | 申请日: | 2023-05-11 |
公开(公告)号: | CN116818852A | 公开(公告)日: | 2023-09-29 |
发明(设计)人: | 蒋树仁;刘国华;王名洋;吴越之;周建伟 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | G01N27/22 | 分类号: | G01N27/22 |
代理公司: | 杭州昱呈专利代理事务所(普通合伙) 33303 | 代理人: | 雷仕荣 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种基于叉指结构的互补开口谐振环传感器及其设计方法,该传感器为双端口器件,包括三层结构,分别为顶层、中间层和底层,其中,顶层包括一条微带线,微带线具有输入端口和输出端口,输出端口与SMA接头连接;中间层为介质基板;底层包括金属薄片和三环互补开口谐振环(CSRR)结构,金属薄片中间区域为刻蚀区,用于刻蚀三环CSRR结构,三环CSRR结构包括外环、中环和内环,外环与内环为两个不等宽的开口谐振环,中间环由叉指电容(IDC)构成的叉指结构的环状结构;在中间环上固定样品支架用来测量液体复介电常数。本发明与现同类传感器相比该传感器体积小,检测误差小,灵敏度高达1.23%。 | ||
搜索关键词: | 基于 结构 互补 开口 谐振 传感器 及其 设计 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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