[发明专利]一种小型化的纳米薄膜传感器

摘要

本发明公开了一种小型化的纳米薄膜传感器，涉及薄膜传感器技术领域，包括定位套环，所述定位套环的内表壁固定安装有外接螺纹管，所述定位套环的顶部固定安装有空心套筒，所述外接螺纹管的内部设置有芯体构成机构，所述芯体构成机构包括不锈钢弹性体，所述不锈钢弹性体的顶部设置有高阻敏感层，所述高阻敏感层的内部分别设置有氮化硅复合介质层、纳米薄膜电阻层、电连接层和钝化保护层，机构的外围材料均采用17‑4PH不锈钢为制作材料，其检测部分运用灵敏度高、测量应变范围大、电阻温度系数小的CrSi合金或者掺杂多晶硅作为应变敏感材料，通过离子束溅射沉积工艺制作，因此传感器的长期稳定性好、可靠性高，温度系数小，综合精度优异。