[发明专利]一种精准转移大面积二维材料的方法在审
| 申请号: | 202310521882.5 | 申请日: | 2023-05-10 |
| 公开(公告)号: | CN116605907A | 公开(公告)日: | 2023-08-18 |
| 发明(设计)人: | 冯丽萍;杨雨龙;吴浩冉;李傲;李焕勇 | 申请(专利权)人: | 西北工业大学 |
| 主分类号: | C01G29/00 | 分类号: | C01G29/00;C01G41/00;B05D1/00;B05D7/00;B82Y40/00 |
| 代理公司: | 西安凯多思知识产权代理事务所(普通合伙) 61290 | 代理人: | 王鲜凯 |
| 地址: | 710072 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | 本发明涉及一种精准转移大面积二维材料的方法。在生长有二维材料的氟晶云母片上旋涂PMMA,和两层PVA的梯度高分子膜;采用丙酮使高分子膜底层的PMMA在基底边缘处溶解形成缝隙,采用先预热,再贴3M胶带固定,再加热的方式。随后自然风干即将二维材料转移至目标基底上。本发明转移后二维材料形貌完整、表面洁净,缓解了现有转移技术存在二维材料破损、转移过程难度大、成功率低等问题,还避免了传统水辅助转移法带来的二维材料易褶皱、破损等问题,同时能够有效避免传统水辅助剥离法中因PMMA厚度较大而产生的残胶污染问题。该方法可实现大面积二维材料的高效转移,转移后二维材料的形貌和结构完整。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 精准 转移 大面积 二维 材料 方法 | ||
【主权项】:
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