[发明专利]一种一维大行程压电驱动纳米定位平台在审
申请号: | 202310508272.1 | 申请日: | 2023-05-08 |
公开(公告)号: | CN116505793A | 公开(公告)日: | 2023-07-28 |
发明(设计)人: | 安冬;李佶;李颂华;邵萌;李新然;王赛男;王川 | 申请(专利权)人: | 沈阳建筑大学 |
主分类号: | H02N2/00 | 分类号: | H02N2/00 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 陈曦 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明的一种一维大行程压电驱动纳米定位平台,包括外框架,外框架中由内侧向外侧设置多级运动平台;各级运动平台间以及最外侧运动平台与外框架间在Y方向上通过沿Y方向布置关于X轴对称的两组柔性导向连接组件相连接,各级运动平台间以及最外侧运动平台与外框架间在X方向上通过两组簧片连接,每组簧片包括两个关于X对称布置的簧片;各级运动平台间以及最外侧运动平台与外框架间分别设置压电驱动器,各个压电驱动器都沿X方向布置且设置在同侧,各个压电驱动器都与外控制器进行连接。本发明可不依赖复杂柔性导向放大机构等机械结构提供一维大行程的致动,解决了一维直驱纳米定位平台在X方向小体积空间内不能输出大行程位移的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 一维大 行程 压电 驱动 纳米 定位 平台 | ||
【主权项】:
暂无信息
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