[发明专利]垂直腔面发射激光器在审
| 申请号： | 202310498122.7 | 申请日： | 2023-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN116613630A | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 聂语葳;李伟;刘素平;马骁宇;吕家纲;潘智鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;G04F5/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种垂直腔面发射激光器，包括：二维亚波长光栅，所述二维亚波长光栅包括：光栅层，所述光栅层包括：多个柱状的光栅凸起，所述光栅凸起在第一方向和第二方向上具有不同的光栅宽度，所述第一方向和第二方向为光栅凸起的排列方向；光栅间隙，所述光栅间隙形成在所述光栅凸起周围表面；基底层，所述光栅层形成在所述基底层表面。二维亚波长光栅可以作为垂直腔面发射激光器的反射镜，从而减少顶层DBR对数，并为垂直腔面发射激光器提供偏振选择特性。 | ||
| 搜索关键词： | 垂直 发射 激光器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310498122.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
