[发明专利]多层膜的量测装置及量测方法在审
| 申请号： | 202310488962.5 | 申请日： | 2023-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN116538952A | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 洪凌桂;周蒋云;麦宏全;庄胜钧 | 申请（专利权）人： | 业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;业成光电（无锡）有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01M11/02 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 汤丽娅 |
| 地址： | 611731 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种多层膜的量测装置及量测方法，量测装置包括：量测模组、待测多层膜以及圆偏振模组。量测模组的同一侧面上具有光源单元以及接收模组，光源单元可产生镭射光束。圆偏振模组位于量测模组与待测多层膜之间。当镭射光束通过圆偏振模组至待测多层膜时，待测多层膜中的反射式偏振片会将镭射光束以全反射至接收模组，而待测多层膜中的第一相位延迟片表面反射的镭射光束会以圆偏振模组中的第二线偏振片吸收，可精确量测待测多层膜的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 多层 装置 方法 | ||
【主权项】：
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